吉时利4200-SCS型优化小电流测量的解决方案（二）

     关于吉时利4200-SCS型优化小电流测量的解决方案，上次已经跟大家说一些有4200—SCS的基本知识以及测量系统中的偏移电流，下面我们继续往下看。

       运行7.1版本之前的KTEI软件的系统也很容易测量偏移电流。请按照以下步骤创建测试，对SMU1进行测量：

      1.在已创建的项目中，打开一个用于一般2端器件的新DevICePlan(器件规划)。

      创建一个名称为SMU1Offset的新ITM。为端子A选择SMU1，端子B选择GNDU。

图2.SMU1的偏移电流测量

     1.在Definition标签页中进行如下设置：

     SMU源测量配置：电压偏置0V，10pA固定电流量程。

     Timing菜单：静音速度，采样模式，0s间隔，20个样本，1s保持时间，选中使能时标。

     公式计算器：创建一个公式，利用标准差测量噪声，NOISE=STDDEV(A1)。

     再创建一个公式测量平均偏移电流：AVGCURRENT=AVG(A1)。

     2.在Graph标签页中进行如下设置(在图形上右击)：

     定义图形：X轴：时间

     Y1轴：电流(A1)

      数据变量：选择在图形上显示NOISE。选择在图形上显示AVGCURRENT。

      完成配置后，保存测试并运行。结果应类似于图2所示的图形。对系统中的全部SMU重复该测试。

      在KITE中执行自动校准程序，可优化输入偏移电流技术指标。如需执行SMU自动校准，在KITE的工具菜单中点击“SMUAutoCalibration”(SMU自动校准)。进行自动校准之前，使系统在上电后预热至少60分钟。除金属帽之外，SMU的ForceHI和SenseHI端子上不应连接任何东西。自动校准程序对系统中全部SMU的全部源和测量功能调节电流和电压偏移。请勿将其与全系统校准混淆，后者应每年在吉时利工厂进行一次。

      完成SMU自动校准后，即可重复进行偏移电流测量。

      III分析系统优化小电流测量——外部偏移

      确定了安培计的偏移电流后，将系统的其余部分逐步添加至测试电路，通过重复电流(0V)和时间图，验证系统其余部分的偏移(利用图3中所示的“AppendRun”按钮)。最后，在“up”位置对探针末端或未连接器件的测试夹具进行测量。该过程将有助于确定任何故障点，例如短路的电缆或测量电路中的不稳定性。然而，要意识到，连接和断开电缆都会在电路中产生电流。为了进行超低电流测量，可能有必要在改变测试电路的连接后等待几分钟至几个小时，使杂散电流衰减。图4中的图形显示的是以下条件下的偏移：1)SMU的ForceHI端子上戴有金属帽;2)前置放大器上仅连接一根三轴电缆;3)通过吉时利7174A型小电流开关矩阵至探针台，“up”位置有一个探针。

图4.整个测试系统的偏移电流测量

      在生成电流-时间图形时施加一个测试电压，重复该项测试，确定测量电路中的漏泄电流。在DUT的实际测量中，使用的是测试电压，而非零偏压。现在，将测量并绘制测试夹具和电缆中的任何漏流。如果漏流太高，可对测量电路进行调节，减小漏流。关于减小漏流的方法信息，请参见本文“漏流和保护”部分。