吉时利4500-MTS型多通道I-V测试系统可以测试什么项目

　　吉时利 4500-MTS 多通道 I-V 测试系统可测项目

　　4500-MTS 是模块化多通道 SMU 直流源测平台，搭配 4510-QIVC(500mA)/4511-QIVC(1A)四通道 I-V 卡，最大 36 路并行源测，做多器件同步直流 I-V、可靠性老化、并行量产电性测试，覆盖有源 / 无源光电器件、半导体、MEMS、IC 等，下面分大类整理全部测试项目：

　　一、基础通用直流 I-V 核心测试(所有器件通用)

　　完整 I-V 曲线扫描

　　电压源测电流、电流源测电压，生成正向 / 反向、双向扫描 I-V 曲线;支持线性 / 阶梯扫描、双向回扫、定点稳态测量。

　　电阻类测量

　　直流阻值、导通电阻、接触电阻、薄膜电阻、MEMS 结构电阻;

　　高低阻漏阻、绝缘电阻(小电流测高阻 R=V/I);

　　四线法精密低阻测量。

　　漏电流 / 漏电测试

　　反向漏电流、关态漏电流、器件隔离漏电、封装漏电、晶圆介质漏电、光电探测器暗漏电流。

　　电压 / 电流定点稳态监控

　　恒压测稳态电流、恒流测稳态电压，长时间持续采样，适合老化监测。

　　开路 / 短路、通断判定

　　批量器件开短路良率快速筛查。

　　二、分立半导体器件测试(二极管、三极管、MOS 等)

　　1)二极管 / 稳压管 / TVS 保护管

　　正向伏安特性、正向压降 Vf、正向串联电阻;

　　反向击穿电压 Vbr、反向漏电流 Ir、齐纳稳压特性;

　　TVS 浪涌直流耐受、钳位电压、漏电流批量分选。

　　2)BJT 双极晶体管

　　输入 / 输出转移 I-V 曲线;

　　Vbe 正向压降、基极漏电流 Iceo/Icbo;

　　放大倍数 β 直流提取、饱和压降 Vce (sat)。

　　3)MOSFET / 功率 MOS

　　转移特性 Id-Vgs、输出特性 Id-Vds;

　　阈值电压 Vth、导通电阻 Rds (on);

　　栅极漏电流 Igss、关态漏电流 Idss、击穿电压 Vds。

　　三、光电子 / 光通信器件(核心优势应用场景)

　　1)LED、Mini/Micro LED、HBLED、VCSEL 激光管

　　光电直流 I-V：Vf 正向压降、正向串联电阻、反向漏电;

　　阈值电流(激光起振电流)、斜率效率直流电学表征;

　　圆片级、封装级多头并行老化、恒流点亮寿命测试;

　　多通道 LED 阵列同步电性分选。

　　2)光电探测器 PD、APD、光电 IC

　　暗电流(零光照漏电流)、反向偏置漏电;

　　反向击穿电压、负载 I-V 响应曲线;

　　阵列探测器多通道同步漏电筛查。

　　3)光子 IC、光模块内部电学通道

　　多通道同步供电 + 电流监测，光收发组件直流功能验证。

　　四、MEMS/MOEMS 微机电器件

　　MEMS 开关、微继电器：导通电阻、关态绝缘漏电、吸合 / 释放电压电流;

　　压力 / 加速度 / 磁传感器：偏置电流、电阻偏移、漏电、应力老化监测;

　　MEMS 阵列多单元并行长时间寿命 / 应力测试，同步采集每一路 I-V 漂移。

　　五、IC 芯片(RFIC、模拟 IC、电源 IC)多通道功能测试

　　多通道同步供电(可编程恒压源)，同时监测各路供电电流;

　　IC 各引脚静态功耗、休眠漏电流、IO 口漏电;

　　LDO/DC-DC 静态负载 I-V、空载 / 带载静态电流;

　　RFIC 基带 / 偏置通道直流电性并行验证;

　　晶圆多 Die 并行电性初测(CP 探针台搭配)。

　　六、可靠性、应力、寿命老化测试(系统主打场景)

　　恒压应力 V-stress：多路同步施加固定偏压，长时间记录漏电流漂移;

　　恒流应力 I-stress：LED、激光管恒流老化，实时监测 Vf 衰减;

　　温偏湿(THB)配套电性监控：高低温箱内多路器件同步 I-V 巡检;

　　加速老化、间歇循环应力(电压 / 电流循环切换);

　　失效监测：记录器件漏电突变、开路、短路失效时刻。

　　七、无源元器件批量测试

　　电阻、热敏电阻、电容直流漏电流、磁珠直流阻抗、熔断器通断阻值;阵列无源器件并行分选。

　　八、量产自动化并行分选(多头测试工装适配)

　　多工位、多 DUT 同步并行测试(最多 36 通道同时测 36 颗器件);

　　良率判定、参数分 bin(按 Vf、Vbr、Rds (on) 等自动分级);

　　晶圆探针测试、封装成品终测电性筛查，大幅提升产线吞吐量。

　　配套扩展测试(加装 PCI 多功能卡拓展)

　　搭配系统 PCI 多功能 IO 卡可叠加：

　　模拟输入 AI：同步采集温度、外部传感器电压;

　　数字 IO：控制探针台、治具电磁阀、分拣机构;

　　模拟输出 AO：外部辅助偏置激励。

　　系统核心测试能力总结

　　主打高密度多通道并行直流源测，全部测试围绕电压 / 电流激励 + 同步电压 / 电流采集，适合大批量、长时间老化、阵列类器件同步电性表征，是光电、MEMS、半导体晶圆 / 封装量产与可靠性实验室主流平台。