运用吉时利4200-SCS型优化小电流测量的最佳解决方案

　　4200-SCS参数分析仪是一个模块化、完全集成的系统，可根据测试要求进行精密配置。

　　具有0.1fA(即100埃安)和1μV分辨率的吉时利4200-SCS半导体特征分析系统就是这样一种解决方案。其专门提供的脉冲I-V工具套件为脉冲I-V测量提供了双通道脉冲发生与测量功能。如果结合内部安装的高速脉冲发生器和示波器,4200及其PIV工具套件能够同时实现直流和脉冲I-V测试。SMU内产生的偏移电流已包括在吉时利4200-SCS型的技术指标中。如图1所示,输入偏移电流增加至被测电流,所以仪表测量的是两个电流之和。 图1.SMU的输入偏移电流 测量每个带有4200-PA前置放大器的4200-SMU的偏移时,ForceHI和SenseHI端子上除金属帽外不连接任何东西。这些三销金属帽已包含在系统中。

　　                                    KEITHLEY吉时利4200-SCS型半导体特征分析系统

　　SMU集4种功能于- -体:电压源、电压表、电流源、电流表;

　　可以向器件提供驱动电压同时测量电流，也可以向器件提供电流并测量电压;

　　图形化的KITE软件可以轻松地设定测试条件，设定电压或电流，被测点数，保护电压或电流值，完成各种I-V参数测试;

　　SM的数量与被测器件的端口数有关，原则上有几个端口，就要配几个SMU。

　　一般来说，keithley吉时利4200-SCS系统的最基本的组成部分就是I-V部分，I-V测 试是最基本，最核心的测试内容，C-V测试，乃至脉冲I-V的测试都是其扩展部分，根据用户的经费情况和研究的器件类型。来对这个系统进行配置。

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