什么是KEITHLEY半导体特征分析仪

　　什么是KEITHLEY半导体特征分析仪呢?半导体特征分析仪的应用有哪些?

　　什么是KEITHLEY半导体特征分析仪

　　半导体特征分析系统是一种用于物理学、化学、材料科学领域的仪器

　　KEITHLEY半导体特征分析仪功能

　　测试氧化层厚度，栅面积，串联电阻，电压，开启电压，体掺杂，徳拜长度，体电势等等。

　　KEITHLEY半导体特征分析仪技术指标

　　1.最大电压源输出：200V

　　2.电压源设定最小分辨率

　　3.最大电流均为100mA，测试精度10fA;3.C-V系统，频率范围：1KHz-10MHz，偏置电压：±30V(差分模式下为±60V);

　　4.脉冲发生器频率：50MHz-1Hz,双通道，最小脉冲宽度为10ns@10V,50ns@40V;

　　5.电流测量精度：0.5%+1nA，I和V的采样率为5ns/点。

　　KEITHLEY半导体特征分析仪用途

　　器件、材料和半导体工艺参数分析

　　半导体光电子器件生产特点

　　与传统的半导体生产相比，半导体光电子器件的生产有以下特征：

　　1)规模小。由于全球对光电子器件的需求量一定，与半导体生产线相比，光电子器件规模较小，同类型的机台数量少，一旦某台机台故障，将有可能造成整条生产线停产，造成很大损失，因此对设备的维护、定期保养很重要。

　　2)周期短。硅片在生产线上的平均加工周期为十几天到几十天，典型的加工流程需要几百步，而光电子器件生产周期为两天到三天，典型的加工流程几十步，这就要求生产调度有一定的灵活性，短时间内能够调整从而指导生产。

　　3)半自动。半导体生产多为全自动，通过一段时间的生产可以统计分析出不同设备、不同产品的良率，而光电子器件存在大量的手工作业，影响产品良率的稳定并进一步造成库存压力，因此MES系统软件要能够合理安排作业人员，并充分考虑库存量。

　　4)多批次。半导体为大批量生产，一个订单的数量巨大，而光电子器件多为小批量，针对客户的特殊需求，产出特定的功率、波长的产品，这就使得设备在生产中频繁调整参数，因此投料控制极为重要。

　　5)非标准。半导体各产品用料可依据经验，而光电子器件涉及到非标夹具，导致lead-time各不相同，因此MES系统软件对这种辅助资源调度要做到合理的控制和优化。